[发明专利]一种用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测方法及其装置无效
| 申请号： | 201010596112.X | 申请日： | 2010-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102062579A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 孙建华;袁科;何先灯 | 申请（专利权）人： | 西安华科光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/27 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710075 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测方法及其装置。所述方法包括以下步骤：1)获取入射激光线束的高斯曲线；2)根据高斯曲线对激光束的位置与线宽进行检测。本发明可以对激光线束的绝对和相对位置进行检测，以及线束的线宽检测等；可以转化为对位移、长度、角位移等的测量；如应用此方法进行平台的变形和振幅检测，对一字线激光进行线直度测量，激光仪器的综合检测等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用线阵 ccd 测量 激光束 位置 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1)获取入射激光线束的高斯曲线；2)根据高斯曲线对激光束的位置与线宽进行检测。
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