[发明专利]一种用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测方法及其装置

权利要求书

1.一种用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

1)获取入射激光线束的高斯曲线；

2)根据高斯曲线对激光束的位置与线宽进行检测。

2.根据权利要求1所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测方法，其特征在于：所述步骤1)的具体实现方式是：

1.1)激光线束入射到线阵CCD的感光面上；

1.2)获取入射激光线束在CCD感光面上的每一象元点的高斯曲线。

3.根据权利要求2所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测方法，其特征在于：所述步骤2)的具体实现方式是：

2.1)用每一象元点的高斯曲线所形成的包络的两边沿做激光线束的边缘，并取两边沿内像元点的个数；

2.2)取两边沿内像元点的个数为激光的相对线宽；

2.3)取相对线宽的中心作为激光线束的位置中心，以相对线宽的中心对应的象元点的绝对位置为激光线束的位置。

4.一种用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测装置，其特征在于：所述装置包括FPGA处理系统和线阵CCD以及电源管理系统；所述线阵CCD与FPGA处理系统连接。

5.根据权利要求4所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测装置，其特征在于：所述装置还包括放大电路和A/D转换电路，所述线阵CCD通过依次放大电路和A/D转换电路与FPGA处理系统连接。

6.根据权利要求5所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测装置，其特征在于：所述装置还包括MCU处理系统，所述FPGA处理系统和MCU处理系统连接。

7.根据权利要求6所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测装置，其特征在于：所述装置还包括电源管理系统，所述电源管理系统分别给FPGA处理系统、线阵CCD、放大电路、A/D转换电路以及MCU处理系统提供电源。

8.根据权利要求4或5或6或7所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测装置，其特征在于：所述线阵CCD是采用ilx575k器件的线阵CCD，所述FPGA处理系统的芯片为EPlC3T144。

9.根据权利要求5所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测装置，其特征在于：所述放大电路是采用高速运放LM359的放大电路。

10.根据权利要求5所述的用线阵CCD测量激光束位置与线宽的检测装置，其特征在于：所述A/D转换电路是采用了tlc5510芯片的A/D转换电路。