[发明专利]利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置无效
申请号: | 201010592757.6 | 申请日: | 2010-12-17 |
公开(公告)号: | CN102096131A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 梁中翥;梁静秋;苏法刚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B5/08 | 分类号: | G02B5/08 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置,该装置的标准块固定于第一基底上靠近左侧的位置,微调节架固定于第一基底的右侧;滑动调节片0位于第一基底1上靠近右侧的位置;带有金属刻度线的第二基底一端放置在标准块与第一基底的接触夹角处,另一端悬在滑动调节片的上方;滑动调节片可在微调节架的作用下在第一基底上移动,以调整标准块右侧面与第二基底上表面之间的夹角。本发明有效提高了每层阶梯高度的控制精度、微阶梯反射镜阶梯表面粗糙度精度、纵向尺寸精度及重复性。 | ||
搜索关键词: | 利用 长方体 制作 阶梯 反射 结构 装置 | ||
【主权项】:
一种利用多个长方体基片制作微阶梯反射镜阶梯结构的装置,其特征在于包括标准块(1),第一基底(31),第二基底(32),微调节架(7),滑动调节片(20);所述标准块(1)固定于第一基底(31)上靠近左侧的位置,微调节架(7)固定于第一基底(31)的右侧;滑动调节片(20)位于第一基底(31)上靠近右侧的位置;带有金属刻度线(324)的第二基底(32)一端放置在标准块(1)与第一基底(31)的接触夹角处,另一端悬在滑动调节片(20)的上方;滑动调节片(20)可在微调节架(7)的作用下在第一基底(31)上移动,以调整标准块右侧面(12)与第二基底上表面(321)之间的夹角。
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