[发明专利]一种研磨垫修整器及研磨垫修整方法无效
| 申请号： | 201010573612.1 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102485426A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 唐强;李佩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫修整器及研磨垫修整方法，所述研磨垫修整器包括修整头，所述修整头位于研磨垫上方，所述修整头与通气管路连通，所述修整头上设置有通气罩，所述通气罩上设置有多个出气孔，以向研磨垫喷射高压气体，所述修整研磨垫的方法是利用高压气体喷射研磨垫表面，以对研磨垫进行修整。本发明所述研磨垫修整器设置包括在修整头上的出气罩和出气罩上的多个出气孔，以及与修整头相连接的通气管路，通过对研磨垫喷射高压气体，高压气体与研磨垫发生冲击摩擦，从而对研磨垫进行修整，避免现有技术中使用金刚石颗粒修整过程中金刚石颗粒落在研磨垫上划伤晶圆，从而提高了影响晶圆质量和产量；并且不使用金刚石颗粒大大降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 修整 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨垫修整器，其特征在于，包括修整头和通气管路，所述修整头位于研磨垫上方，所述修整头与通气管路连通，所述修整头上设置有通气罩，所述通气罩上设置有多个出气孔，以向研磨垫喷射高压气体。
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