[发明专利]一种研磨垫修整器及研磨垫修整方法无效
| 申请号： | 201010573612.1 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102485426A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 唐强;李佩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 修整 方法 | ||
1.一种研磨垫修整器，其特征在于，包括修整头和通气管路，所述修整头位于研磨垫上方，所述修整头与通气管路连通，所述修整头上设置有通气罩，所述通气罩上设置有多个出气孔，以向研磨垫喷射高压气体。
2.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述修整头与所述研磨垫的距离为1.2～3cm。
3.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述修整头喷射出的高压气体为压缩空气。
4.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述修整头喷射出的高压气体在所述研磨垫上的压力为4.85～5.15PSI。
5.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述通气罩的直径为5～15cm。
6.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述通气罩的材质为硬质金属。
7.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述通气管路上设置有调压阀。
8.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，还包括修整臂，所述修整头固定在修整臂的一端，所述通气管路固定在所述修整臂上，所述修整臂能够带动所述修整头在所述研磨垫上方水平摆动。
9.一种修整研磨垫的方法，其特征是，利用高压气体喷射研磨垫表面，以对研磨垫进行修整。
10.如权利要求9所述的修整研磨垫的方法，其特征在于，所述高压气体为压缩空气。
11.如权利要求9所述的修整研磨垫的方法，其特征在于，所述高压气体在所述研磨垫上的压力为4.85～5.15PSI。
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