[发明专利]太阳能电池制造装置及其系统及太阳能电池

摘要

本发明涉及一种太阳能电池制造装置，包括：真空腔室，形成有腔门；载体支撑部，设置于所述真空腔室，搭载有载体，该载体装载多个结晶系硅基板；气体喷射部，设置于所述载体支撑部上侧，用于喷射气体；电源施加部，施加电源使真空腔室内产生等离子，其特征在于，所述太阳能电池制造装置在以形成多个通孔的覆盖板覆盖所述基板地设置于所述载体上的状态下进行实施干蚀刻，从而在基板表面形成多个微突起。

主权项

一种太阳能电池制造装置，包括：真空腔室，形成有腔门；载体支撑部，设置于所述真空腔室，搭载有载体，其中所述载体装载有多个结晶系硅基板；气体喷射部，设置于所述载体支撑部上侧，用于喷射气体；以及电源施加部，施加电源使真空腔室内产生等离子，其特征在于，在将形成有多个通孔的覆盖板设置于所述载体以覆盖所述基板的状态下，所述太阳能电池制造装置实施干蚀刻以在基板表面形成多个微突起。