[发明专利]高Q值大相对变化量电容压力传感器无效
| 申请号： | 201010548819.3 | 申请日： | 2010-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102052989A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 周东祥;傅邱云;龚树萍;罗为;郑志平;赵俊;王建玲 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于无线无源测量的电容压力传感器，由周边固支的弹性振动膜片组成电容器，通过调整圆形电极与振动膜片半径之比、设置绝缘凸点等手段，使振动膜片处于大应变状态，最大电容与初始电容之比尽可能大，从而使电容达到大相对变化量、高Q值的目的。本发明的高Q值和大相对电容变化量的电容压力传感器与声表面波变送器连接后，可以实现对压力的高精度无线无源测量，该传感器可用于汽车轮胎压力监测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 相对 变化 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种电容压力传感器，包括两片圆形弹性振动膜片（1，2）、封接材料制作的圆环（3，4）、两圆形金属膜电极（5，6）、电极内金属膜引出线（7，8）和外金属膜电极（9，10），所述两圆形弹性振动膜片（1，2）外缘通过所述封接材料制作的圆环（3，4）粘结在一起，形成内部有空腔、周边固支的弹性膜，所述两圆形金属膜电极（5，6）分别贴于两片圆形弹性振动膜片（1，2）相对置的内侧面上，所述电极内金属膜引出线（7，8）一端埋在封接材料制作的圆环（3，4）中，另一端与圆形金属膜电极（5，6）接触连接，所述外金属膜电极（9，10）一端设置在所述封接材料制作的圆环（3，4）上，与电极内金属膜引出线（7，8）相连，另一端露出作为整个传感器的引出线，其特征在于：所述的金属膜圆形电极（5，6）的半径小于圆形弹性振动膜片（1，2）的半径，使所述传感器能够工作在大应变状态下；所述电容压力传感器还具有多个绝缘材料凸点（11），其均匀布置在两片圆形弹性振动膜片（1，2）之一和/或圆形金属膜电极（5，6）上，用于防电极短路和起过载保护的作用。
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