[发明专利]用于制作太阳能面板的工艺和由其制作的太阳能面板

摘要

本发明提供一种用于制作太阳能面板的工艺。本发明的所述工艺避免了使用激光划线，因此其在制作柔性太阳能面板中尤其有用。另外，本发明提供用于连接太阳能面板中的第一电极和第二电极的替代方案。

主权项

一种用于制作柔性太阳能面板的工艺，其包括以下步骤：(a)提供上面具有经图案化第一电极的衬底；(b)在所述具有经图案化第一电极的衬底上依序沉积第一材料的层和第二材料的层；(c)在所述第二材料的所述层上且在多个导电通道处形成多个经图案化光致抗蚀剂；(d)对所述第一材料的所述层和所述第二材料的所述层进行湿式蚀刻以在所述导电通道处形成多个T形结构，其中所述第一材料的蚀刻速率高于所述第二材料的蚀刻速率；(e)在具有所述经图案化第一电极的所述衬底上沉积至少一半导体膜以形成光电转换元件；(f)在所述半导体膜上沉积至少一个第二电极，以便在所述导电通道处将所述第二电极电连接到所述第一电极；以及(g)对所述第二电极和半导体膜进行划线以分离个别电池而形成太阳能面板。