[发明专利]检测方法、粒子束系统和制造方法有效
| 申请号： | 201010529590.9 | 申请日： | 2010-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN102072913A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 休伯特·曼茨;雷纳·阿诺德;迈克尔·阿尔比兹 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司NTS有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测方法、粒子束系统和制造方法。该检测方法包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于样品附近的至少一个探测器；将由至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的电子相关的至少一个第一信号分量；以及基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的X射线相关的至少一个第二信号分量。根据本发明，可通过样品发出的电子和X射线二者获得与样品相关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 粒子束 系统 制造 | ||
【主权项】：
一种检测方法，包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于所述样品附近的至少一个探测器；将由所述至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到所述强度区间的所述探测信号，确定与入射到所述探测器的电子相关的至少一个第一信号分量；以及基于分配到所述强度区间的所述探测信号，确定与入射到所述探测器的X射线相关的至少一个第二信号分量。
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