[发明专利]一种机械式离子束均匀性校正器

摘要

一种机械式离子束均匀性校正器，包括：真空腔，小光栏片，调节杆，真空动密封模块，调节传动模块，调节电机，上光栏链，下光栏链。所述的真空腔上下面开排孔，安装真空动密封模块；所述的小光栏片首尾相连，分别组合成上光栏链和下光栏链，并在连接处同调节杆的一端相连；所述的真空动密封模块安装在真空腔上，中间可穿过调节杆，并密封真空；所述的调节传动模块一端连接调节杆，另一端连接调节电机，将电机转动转变为调节杆的轴向滑动；所述的上光栏链和下光栏链由多个小光栏片首尾相连组成，并在每个连接处与一根调节杆连接，通过调节杆的轴向移动，调节相应连接点处上光栏链和下光栏链之间的距离，改变离子束的通过率，实现离子束在光栏链范围内的均匀性校正。

主权项

一种机械式离子束均匀性校正器，包括：真空腔(1)，小光栏片(2)，调节杆(3)，真空动密封模块(4)，调节传动模块(5)，调节电机(6)，上光栏链(7)，下光栏链(8)。所述的真空腔(1)上下面开排孔，安装真空动密封模块(4)；所述的小光栏片(2)首尾相连，分别组合成上光栏链(7)和下光栏链(8)，并在连接处同调节杆(3)的一端相连；所述的真空动密封模块(4)安装在真空腔(1)上，中间可穿过调节杆(3)，并密封真空；所述的调节传动模块(5)一端连接调节杆(3)，另一端连接调节电机(6)，将调节电机(6)的转动转变为调节杆(3)的轴向滑动；所述的上光栏链(7)和下光栏链(8)由多个小光栏片(2)首尾相连组成，并在每个连接处与一根调节杆(3)连接。