[发明专利]纳米晶硅粉的低温球磨制备方法无效
| 申请号： | 201010501066.0 | 申请日： | 2010-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN101979317A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 陈斐;王志浩;沈强;王传彬;张联盟 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王守仁 |
| 地址： | 430071 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高纯、晶粒尺寸均匀可控、表面钝化的纳米晶硅粉的低温球磨制备方法，即：以市售高纯硅粉（纯度：>99.9，粒度：50～500目）作为初始原料，采用液氮或者液氩作为球磨介质，不锈钢球作为研磨介质，通过低温球磨，精确控制球磨时间为1～48小时，球磨转速为100～1000转/分钟，球料质量比为10:1～100:1，即可得到一种物相单一、高纯、晶粒尺寸范围为10～100nm、表面钝化的纳米晶硅粉。本发明工艺简单，成本低廉，可重复性好，而且所制备的纳米晶硅粉具有纯度高、晶粒尺寸均匀可控、表面钝化等优异性能，可广泛应用于光电子信息和纳米技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 晶硅粉 低温 磨制 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米晶硅粉的制备方法，其特征是一种纳米晶硅粉的低温球磨制备方法，该方法采用包括以下步骤的方法：（1）将不锈钢磨球和原始硅粉按照球料质量比为10:1～100:1加入到球磨罐中；（2）向球磨罐中通入液氮，使原始硅粉以及不锈钢磨球全部浸没在液氮中，温度为‑140℃以下，并保持液氮的挥发量与通入量平衡以使液面稳定；（3）恒温30分钟后开始球磨，球磨1～48小时；（4）球磨完毕，将球磨罐转移至真空手套箱中，放置12～24小时；经过上述步骤，得到晶粒尺寸均匀可控、表面钝化的纳米晶硅粉。
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