[发明专利]一种微机电电容式角速度传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种微机电电容式角速度传感器，包括基底和设置在基底上的衬底，在衬底上设有中心立柱及电容极板，所述电容极板为四个，均围绕所述中心立柱呈中心对称分布；在所述电容极板的上方设有质量块和弹簧机构，所述质量块为四个，与所述电容极板上下相对应，质量块与中心立柱通过弹簧机构连接；在所述衬底与质量块之间设有可供质量块以中心立柱为中心沿其轴向左右摆动及径向伸缩位移的驱动梳齿机构；在所述质量块上开有通槽，在所述基底上锚定有固定电容板，固定电容板穿过电容极板上的通孔伸出至通槽内；可实现对X、Y轴、Z轴输入角速度的检测，结构简单、灵敏度高、体积小、制作成本低。还公开了上述微机电电容式角速度传感器的制作方法。

主权项

一种微机电电容式角速度传感器，其特征在于：包括基底和设置在所述基底上的衬底，在所述衬底上设有中心立柱及电容极板，所述中心立柱位于所述衬底的中心部位，所述电容极板为四个，均围绕所述中心立柱呈中心对称分布；在所述电容极板的上方设有质量块和弹簧机构，所述质量块为四个，与所述电容极板上下相对应，其中一对质量块位于X轴上，另一对质量块位于Y轴上，所述质量块与中心立柱通过弹簧机构连接，所述质量块与所述电容极板之间的间距可随X、Y轴输入角速度大小而作相应的线性变化；在所述衬底与质量块之间设有可供质量块以中心立柱为中心沿其轴向左右摆动的驱动梳齿机构；还包括信号输入输出结构，所述信号输入输出结构与所述驱动梳齿机构连接用于输入驱动信号，所述信号输入输出结构还与电容极板连接用于输出X、Y轴角速度的检测信号；当X、Y轴有角速度输入时，与X、Y轴正交的质量块在驱动梳齿机构作用下沿Z轴上下运动，使质量块与相应电容极板之间形成差模电容输出。