[发明专利]在钕掺杂钒酸镥晶体内制备条形波导激光器件的方法

摘要

在钕掺杂钒酸镥晶体内制备条形波导激光器件的方法，属于光电子器件制备技术领域。主要包括在钕掺杂钒酸镥晶体中形成条形波导和实现条形波导激光输出。采用脉冲重复频率为200千赫兹，能量为2～17毫焦/脉冲，写入速度为0.2～15毫米/秒的飞秒激光，在钕掺杂钒酸镥晶体内形成条形波导。对波导端面进行激光谐振腔镀膜后，利用泵浦激光对钕掺杂钒酸镥条形波导进行泵浦，输出波长在1063±1或1340±1纳米的红外激光。

主权项

一种在钕掺杂钒酸镥晶体内制备条形波导激光器件的方法，其特征在于，制备方法如下：1)将垂直于钕掺杂钒酸镥晶体晶轴即c轴方向的两个面，进行抛光，并对抛光后的样品清洗；2)用飞秒激光，透过任一抛光面，沿晶体的a或b轴方向灼烧样品，产生两条间距为20或30微米的踪迹，在两条踪迹间形成条形波导；3)将晶体垂直于条形波导方向的两个端面抛光；4)在抛光的端面上镀激光谐振腔膜，形成条形钕掺杂钒酸镥晶体波导激光器件；5)利用光源泵浦钕掺杂钒酸镥晶体的条形波导，产生波长为1063±1纳米或者1340±1纳米的波导激光。