[发明专利]用于透射电子显微镜检测的样品组及其制作方法有效
| 申请号： | 201010275065.9 | 申请日： | 2010-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN102384866A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 杨卫明;赵燕丽;庞凌华;段淑卿;齐瑞娟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;谢栒 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于透射电子显微镜(TEM)检测的样品组，所述样品组包括粘合在一起的层状标识件和至少两个样品，样品组中各样品的被粘合的表面均为样品的非检测面，且各样品的检测面均暴露于样品组的供透射电子显微镜检测之用的表面；层状标识件位于样品组中的两个样品的非检测面之间，并以相反的两个表面分别与两个样品的非检测面粘合，以标识各样品的排列方向；或层状标识件仅以一个表面与位于样品组的首端或尾端的非检测面粘合，以标识样品组的首端或尾端。相对于现有的TEM检测样品组，使用该样品组，可方便地区分相同或相似图案的多个样品，从而提高TEM检测的整体效率。该样品组能够在目前的IC工艺中得到广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 透射 电子显微镜 检测 样品 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种用于透射电子显微镜检测的样品组，其特征在于，所述样品组包括粘合在一起的层状标识件和至少两个样品，所述样品组中各样品的被粘合的表面均为样品的非检测面，且各样品的检测面均暴露于所述样品组的供所述透射电子显微镜检测之用的表面；其中，所述层状标识件位于所述样品组中的两个样品的非检测面之间，并以相反的两个表面分别与所述两个样品的非检测面粘合，以标识各样品的排列方向；或所述层状标识件仅以一个表面与位于所述样品组的首端或尾端的非检测面粘合，以标识所述样品组的首端或尾端。
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