[发明专利]电容的器件失配的修正方法

摘要

本发明公开了一种电容的器件失配的修正方法，首先，确定电容的工艺失配参数为3个，分别为面积型电容密度、周长型电容密度、电容值；其次，设定这3个参数的随机偏差；再次，对电容的器件失配进行修正。本发明可以在SPICE软件中对电容的器件失配进行仿真分析，而且充分考虑到电容宽度W、电容长度L和器件间距D对电容的器件失配的影响。

主权项

1.一种电容的器件失配的修正方法，其特征是：首先，确定电容的工艺失配参数为3个，分别为面积型电容密度、周长型电容密度、电容值；其次，设定面积型电容密度的随机偏差设定周长型电容密度的随机偏差设定电容值的随机偏差其中W为电容宽度、L为电容长度、D为电容之间的间距，S_ΔCA、T_ΔCA、S_ΔCP1、S_ΔCP2、T_ΔCP为随机偏差修正因子；再次，对电容的器件失配进行修正，具体包括：C=CA_original×(W×L)×[1+W×L×SΔCAW×L×agauss(0,1,3)+D×TΔCA×agauss(0,1,3)]]]>+CP_original×[2×(W+L)]×{1+2×(W+L)×[SΔCP1W×agauss(0,1,3)+SΔCP2L×agauss(0,1,3)]]>+D×TΔCP×agauss(0,1,3)]}]]>其中C为修正后的电容值，CA_original为原始的面积型电容密度，CP_original为原始的周长型电容密度；所述agauss(0，1，3)表示期望值为1、标准差为1/3的正态分布取值范围内的随机数。