[发明专利]打线机台及适用于打线机台的遮蔽气体供应装置有效
申请号: | 201010250558.7 | 申请日: | 2010-08-10 |
公开(公告)号: | CN102013406A | 公开(公告)日: | 2011-04-13 |
发明(设计)人: | 黄凯麟;杜嘉秦 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/603 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种打线机台及适用于打线机台的遮蔽气体供应装置。该打线机台包括一主体、一夹块、一固定块、一气体供应管、一遮蔽气体供应装置、一毛细工具以及一电极。夹块具有一限定于其中的腔室以及一形成于夹块的一侧壁且连通腔室的中心孔。固定块具有一向上延伸以固定于主体上的定位构件以及一向下延伸至夹块的腔室的电极夹持构件。遮蔽气体供应装置具有限定于其中的一连续气体通道以及一孔洞。保护气体流入一稳定流场中,其环绕于遮蔽气体供应装置的连续气体通道的孔洞区域内,以使结球形成与结球接合过程中具有较佳的结球形成。 | ||
搜索关键词: | 机台 适用于 遮蔽 气体 供应 装置 | ||
【主权项】:
一种打线机台,包括:主体;夹块,具有一限定于其中的腔室以及一形成于该夹块的一侧壁且连通该腔室的中心孔;固定块,具有一向上延伸以固定于该主体上的定位构件以及一向下延伸至该夹块的该腔室的电极夹持构件;气体供应管,连接该夹块的该腔室,用以供应一保护气体;遮蔽气体供应装置,具有限定于其中的一连续气体通道以及一孔洞,其中该遮蔽气体供应装置通过该中心孔而固定于该夹块上,且该连续气体通道连通该腔室;毛细工具,相对于一芯片上的多个将被接合的芯片接垫固定于该主体,用以上下往复运动在该遮蔽气体供应装置的该孔洞内;以及电极,该电极夹持构件夹持该电极的一端,而该电极的另一端延伸于该连续气体通道内且至该孔洞;其中该保护气体流入一稳定流场中,其环绕于该遮蔽气体供应装置的该连续气体通道的该孔洞区域内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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