[发明专利]一种分体式离子源引出电极系统无效
| 申请号： | 201010243070.1 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102347190A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;孙勇;刘仁杰 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/02;H01J37/32 |
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| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种分体式离子源引出电极系统，包括：减速电极3、屏蔽筒2、绝缘子4、加速电极7、减速电极连接杆1、加速电极连接杆8、电极基座10，所述屏蔽筒2安装在减速电极3上面向加速电极7的一侧；所述绝缘子4安装加速电极上7面向减速电极3的一侧，靠近屏蔽筒2并与屏蔽筒2相对应，其特征在于，其中所述减速电极3通过所述减速电极连接杆1连接固定到基座10上；其中所述加速电极7通过所述加速电极连接杆8连接固定到基座10上，连接方式使得所述加速电极7在需要时能够通过所述加速电极连接杆8的前后移动而沿离子束流的方向精确地前后移动。本发明的离子源引出电极结构稳定可靠，在过热的情况下加速电极和减速电极之间不会产生应力应变，从而不会损失电极的精度，还具有许多其它优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 离子源 引出 电极 系统 | ||
【主权项】：
一种分体式离子源引出电极系统，包括：减速电极(3)、屏蔽筒(2)、绝缘子(4)、加速电极(7)、减速电极连接杆(1)、加速电极连接杆(8)、电极基座(10)，所述屏蔽筒(2)安装在减速电极(3)上面向加速电极(7)的一侧；所述绝缘子(4)安装加速电极(7)上面向减速电极(3)的一侧，靠近屏蔽筒(2)并与屏蔽筒(2)相对应，其特征在于：其中所述减速电极(3)通过所述减速电极连接杆(1)连接固定到基座(10)上，连接方式使得所述减速电极(3)在需要时能够通过所述减速电极连接杆(1)的前后移动而沿离子束流的方向精确地前后移动；其中所述加速电极(7)通过所述加速电极连接杆(8)连接固定到基座上。
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