[发明专利]新型树脂以及包括该新型树脂的光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201010240192.5 | 申请日： | 2010-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101950127A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘骢;C·-B·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00;C08F220/18;C08F220/28;C08F220/32;C07C69/54;C07C69/67;C07C69/75 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 樊云飞 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型树脂，所述树脂包括优选为光酸敏感性的多元环、芳香族和/或多环酯单元。同时提供一种化学放大正型光致抗蚀剂，其不但包含多元环、芳香族和/或多环酯单体，也包含上述树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 树脂 以及 包括 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种包含树脂的光致抗蚀剂组合物，其中所述树脂包含多元环、多环酯单元。
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