[发明专利]一种化学机械抛光液有效
| 申请号： | 201010238420.5 | 申请日： | 2010-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN102051129A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王晨;何华锋 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C23F3/04 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光液，其含有激发剂，强氧化剂前体(precursor)，研磨剂和水。本发明的化学机械抛光液可显著提高钨的抛光速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光液，其含有：激发剂，强氧化剂前体(precursor)，研磨剂和水。
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