[发明专利]二维梳形致动器及其制造方法

摘要

本发明提供一种二维梳形致动器及其制造方法，包括支承基座、框架以及可移动体。该支承基座设置第一梳形电极，该框架具有内部梳形电极以及外部梳形电极，该外部梳形电极分别叉合于该第一梳形电极。该可移动体具有第二梳形电极，分别叉合于该内部梳形电极，其中该第二梳形电极的厚度与相对应叉合的该内部梳形电极的厚度不相等，且该外部梳形电极的厚度与相对应叉合的该第一梳形电极的厚度不相等。本发明利用一导电层设置于该第一梳形电极、内部梳形电极及外部梳形电极以及第二梳形电极，以增加旋转角度以及可使用频率范围。

主权项

一种二维梳形致动器，其特征在于：该二维梳形致动器包括：一支承基座、一框架以及一可移动体，其中该支承基座设置两组第一梳形电极，该框架依附于支承基座，用以绕着一第一旋转轴作转动，该框架具有两组内部梳形电极以及两组外部梳形电极，其中该两组外部梳形电极分别叉合于该两组第一梳形电极，该可移动体依附于框架，用以绕着垂直于该第一旋转轴的一第二旋转轴作转动，该可移动体具有两组第二梳形电极，分别叉合于该两组内部梳形电极，其中该两组第二梳形电极中的其中之一的厚度与相对应叉合的该两组内部梳形电极的厚度不相等，该两组外部梳形电极中的其中之一的厚度与相对应叉合该两组第一梳形电极的厚度不相等。