[发明专利]掩膜缺陷检测装置无效
| 申请号： | 201010212286.1 | 申请日： | 2010-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN102023162A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 朴时映 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 周艳玲;罗正云 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种掩膜缺陷检测装置，包括张紧夹具单元，该张紧夹具单元具有之上定位有待检测的金属掩膜的支架、设置在该支架两侧以固定所述金属掩膜的相对边缘的夹紧部件和将张紧力施加到由该夹紧部件固定的所述金属掩膜上的张紧部件；以及用于检测由该张紧夹具单元固定的所述金属掩膜的检测单元。定位在该支架上的所述金属掩膜与所述检测单元之间的垂直距离小于或等于所述张紧夹具单元与所述检测单元之间的垂直距离。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种掩膜缺陷检测装置，包括：张紧夹具单元，包括之上定位有待检测的金属掩膜的支架、设置在所述支架两侧以固定所述金属掩膜的相对边缘的夹紧部件和将张紧力施加到由所述夹紧部件固定的所述金属掩膜的张紧部件；以及用于检测由所述张紧夹具单元固定的所述金属掩膜的检测单元，其中定位在所述支架上的所述金属掩膜与所述检测单元之间的垂直距离小于或等于所述张紧夹具单元与所述检测单元之间的垂直距离。
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