[发明专利]掩膜缺陷检测装置

说明书

技术领域

本发明的各个方面总体上涉及一种掩膜缺陷检测装置，更具体地说，涉及一种检测显示面板制造工艺中用的掩膜是否有缺陷的掩膜缺陷检测装置。

背景技术

显示面板制造工艺一般使用各种类型的掩膜。例如，精密工艺使用金属掩膜。然而，在某些情况下会产生缺陷，例如细小的外来物质附着于金属掩膜上而导致掩膜的图案损坏。使用具有这些缺陷的金属掩膜将造成整个制造工艺的大量损失。

因而，在使用金属掩膜之前或之后，应该定期检测金属掩膜的缺陷的存在。一种检测金属掩膜的缺陷的方法是将待检测的金属掩膜固定在夹具上，然后使用检测掩膜对固定的金属掩膜的缺陷进行检测。这时，由于摄像机更紧密地接近待检测的金属掩膜，因此使探测图案损坏和外来物质的能力得到提高。

然而，由于固定所述金属掩膜的边缘的夹具的夹持器一般具有向上突出的结构，所以检测摄像机只能在不与此夹具碰撞的范围内接近固定在夹具上的金属掩膜。换句话说，由于固定所述金属掩膜的夹具的上述结构，摄像机接近待检测的金属掩膜或者检测金属掩膜的边缘部分受到限制。因此，不能精确且稳定地检测金属掩膜缺陷的存在。

发明内容

本发明的各个方面提供一种能够精确且稳定地检测金属掩膜缺陷的存在的掩膜缺陷检测装置。

根据本发明的一个方面，提供一种掩膜缺陷检测装置。该装置包括：张紧夹具单元，该张紧夹具单元具有之上定位有待检测的金属掩膜的支架、设置在所述支架两侧以固定所述金属掩膜的相对边缘的夹紧部件、和将张紧力施加到由所述夹紧部件固定的所述金属掩膜的张紧部件；以及用于检测由所述张紧夹具单元固定的所述金属掩膜的检测单元，其中定位在所述支架上的所述金属掩膜与所述检测单元之间的垂直距离小于或等于所述张紧夹具单元与所述检测单元之间的垂直距离。

根据本发明的另一个方面，定位在所述支架上的所述金属掩膜在支架的边缘处以预定角度弯曲，使得所述金属掩膜能固定到所述夹紧部件上。

根据本发明的另一个方面，所述预定角度可以处于10°到30°的范围内。

根据本发明的另一个方面，固定所述金属掩膜的所述边缘的所述夹紧部件的固定表面可以相对于之上定位有所述金属掩膜的所述支架的表面具有预定倾斜角度。

根据本发明的另一个方面，所述预定倾斜角度可以处于10°到30°的范围内。

根据本发明的另一个方面，所述张紧部件可以牵引所述夹紧部件以将所述张紧力施加到所述金属掩膜。

根据本发明的另一个方面，掩膜缺陷检测装置可以进一步包括传送单元，以相对于所述检测单元和所述张紧夹具单元中的一个沿平行方向传送所述检测单元和所述张紧夹具单元中的另一个。

根据本发明的另一个方面，所述检测单元包括用于检测定位在所述支架上的所述金属掩膜缺陷的存在的摄像机单元和围绕所述摄像机单元设置以照明所述金属掩膜的照明单元。

根据本发明的另一个方面，所述金属掩膜与所述检测单元之间的所述垂直距离小于或等于所述夹紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。

根据本发明的另一个方面，所述金属掩膜与所述检测单元之间的所述垂直距离小于或等于所述张紧部件与所述检测单元之间的垂直距离。

根据本发明的另一个方面，所述掩膜缺陷检测装置能够精确且稳定地检测所述金属掩膜缺陷的存在。

本发明另外的方面和/或优点部分地将在后面的描述中提出，部分地根据说明书将变得明显的，或者可以从对本发明的实践中获悉。

附图说明

通过结合附图下面对实施例所作描述，本发明的这些和/或其它方面以及优点将变得明显和更容易理解，其中：

图1是根据本发明的实施例的掩膜检测装置的主视图；

图2是图1的张紧夹具单元的主视图；

图3是图1中的张紧夹具单元的局部俯视图；

图4是图1中的张紧夹具单元的局部放大图。

具体实施方式

接下来将详细介绍本发明的实施例，其示例被图解于附图中，其中相同的附图标记始终是指相同的元件。为了解释本发明，下面将参照附图描述各个实施例。

另外，鉴于附图中示出的组成构件的尺寸和厚度是为了更好的理解和容易描述而任意给出的，本发明的各方面不限于图解的尺寸和厚度。在图中，各层、各区域等的厚度是为了清楚和容易地理解而被夸大。可以理解的是，当例如层、薄膜、区域或基板等元件被描述成在其它元件“之上”时，它可以是直接在其它元件之上，或者由居间元件分开。