[发明专利]潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机

摘要

一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机，涉及真空镀膜机，包括电极、磁路、收卷辊、放卷辊、换向辊、张紧辊、真空系统、双向进给控制单元、进气管和电源组成，所述真空系统主要由真空室构成，在所述真空室内设置两组对称的电极结构和磁路结构，相邻两电极之间形成磁场，且电极、磁路和进气管沿真空室轴线的上下对称布置，在高频放电的作用下，将电子离化率提高到较高水平。有益效果是可以实现化学气相沉积的三个基本过程，即反应物的输运过程，化学反应过程和去除反应副产品过程，得到镀层均匀性优良、相对已知镀膜方法更为高的沉积率、大面积、平滑、较高附着率，且具有较低温度过程的镀膜。

主权项

一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机，包括电极、磁路、收卷辊、放卷辊、换向辊、张紧辊、真空系统、双向进给控制单元、进气管和电源组成，所述真空系统主要由真空室构成，其特征在于：在所述真空室内设置两组对称的电极结构和磁路结构，相邻两电极之间形成磁场，且电极、磁路和进气管沿真空室轴线的上下对称布置，在高频放电的作用下，将电子离化率提高到较高水平。