[发明专利]基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明揭示了一种基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器，其中镁锌氧化物薄膜生成于衬底材料上，并于镁锌氧化物薄膜上进一步生成有金属薄膜叉指电极。其特点体现为：该金属薄膜叉指电极间隔地在其指电极与镁锌氧化物薄膜之间夹设有导电层。从制法上来看，即在完成镁锌氧化物薄膜制备后，将导电层先于金属电极沉积到镁锌氧化物薄膜之上。本发明基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器及其制法，有效增强了薄膜之间的附着力，使产生的光生电子与空穴有效分离，减小电子与空穴的复合，促进光生载流子的产生并延长其寿命，使光电流更强，从而进一步提高了探测器的灵敏度。

主权项

基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器，所述镁锌氧化物薄膜生成于衬底材料上，且所述紫外光探测器具有生成于镁锌氧化物薄膜之上的金属薄膜叉指电极，其特征在于：所述金属薄膜叉指电极间隔地在其指电极与镁锌氧化物薄膜之间夹设有导电层。