[发明专利]一种光刻机掩模刀口移动装置

摘要

一种光刻机掩模刀口移动装置，采用双层单元、两组独立组件结构，由结构相同的X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置组成，X向狭缝刀口移动装置实现X方向左右独立平动，Y向狭缝刀口移动装置实现Y方向上下独立平动；X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置装配叠加后分别实现X方向左右、Y方向上下的平动；X向狭缝刀口移动装置或Y向狭缝刀口移动装置由两个刀片夹、两个精密滚珠丝杠、两个丝杠螺母、两个带动杆、两个电机、两个联轴节、两个光栅、一台计算机和一个掩模台组成。本发明能够实现掩模不同位置、并形状大小可自动控制调节的照明区域。

主权项

一种光刻机掩模刀口移动装置，其特征在于：所述光刻机掩模刀口移动装置采用双层单元、两组独立组件结构，它由结构相同的X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置组成，X向狭缝刀口移动装置实现X方向左右独立平动，Y向狭缝刀口移动装置实现Y方向上下独立平动；X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置装配叠加，即四个刀片夹以井字型首尾相压方式叠加后，分别实现X方向左右、Y方向上下的平动；X向狭缝刀口移动装置或Y向狭缝刀口移动装置分别由两个刀片夹、两个精密滚珠丝杠、两个丝杠螺母、两个带动杆、两个电机、两个联轴节、两个光栅、一台计算机组成，X向狭缝刀口移动装置或Y向狭缝刀口移动装置中的两个刀片夹应相互平行，并与Y向狭缝刀口移动装置或X向狭缝刀口移动装置中的两个刀片夹垂直，四个刀片夹的基准面处于同一表面；X向狭缝刀口移动装置或Y向狭缝刀口移动装置中的两个刀片夹安装在两个带动杆上，两个带动杆通过两个丝杠螺母与两个精密滚珠丝杠相连，两个精密滚珠丝杠通过两个联轴节与两个电机相连，计算机根据需要对两个电机驱动器发出控制命令使两个电机转动，当两个电机转动时，两个精密滚珠丝杠随之一起转动，并通过两个丝杠螺母带动两个带动杆做直线运动，使安装在两个带动杆上的两个刀片夹进行左右平移或上下平移，形成刀口式可变狭缝。