[发明专利]准分子激光微加工系统的光具调节器无效
| 申请号： | 201010194827.2 | 申请日： | 2010-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN101859009A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 吴坚;李倩;陈涛;刘世炳 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;B23K26/08 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 吴荫芳 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 准分子激光微加工系统的光具调节器属于微纳米科学技术领域，用于MEMS加工。本发明中，在光学导轨上设置滑动座(1)，滑动座(1)上依次安装调节座(2)、支撑板(3)、镜架(4)、紧定位器(5)。镜架(4)设有可放置大口径圆形光学元件的光具孔(22)；其中还设置有可安置在光具孔(22)中的方形光学元件调节器(23)以及安装在滑动座(1)上的可转折光路的反光斜架座(32)。本发明可实现X方向、Y方向、Z方向、俯仰、左右旋转，共五维微调，还可90°折转光路及安装方形光学元件。紧定位器(5)直接与调节座(2)连接，并包在镜架(4)外围，其侧面四周均匀设置多个螺孔，通过螺钉顶固镜架(4)，保证了光学元件可靠地长期稳定工作。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 加工 系统 调节器 | ||
【主权项】：
准分子激光微加工系统的光具调节器，包括与光学导轨配合的滑动座(1)、安装在滑动座(1)上的可以前后调节的调节座(2)、安装在调节座(2)上的可以左右调节的支撑板(3)、安装在支撑板(3)上可以俯仰调节的镜架(4)、固定在调节座(2)并包围镜架(4)的紧定位器(5)，其中镜架(4)中设置有直径大于80mm的光具孔(22)；其特征在于：还设置有反光斜架座(32)，调节座(2)通过反光斜架座(32)安装在滑动座(1)上，该反光斜架座(32)顶部为夹角成90°的斜槽，斜槽的两面分别设置有螺孔，用于固定调节座(2)；并且还设置有可放置于光具孔(22)内的可加持方形光学元件的方形光学元件调节器(23)。
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