[发明专利]准分子激光微加工系统的光具调节器

权利要求书

1.准分子激光微加工系统的光具调节器，包括与光学导轨配合的滑动座(1)、安装在滑动座(1)上的可以前后调节的调节座(2)、安装在调节座(2)上的可以左右调节的支撑板(3)、安装在支撑板(3)上可以俯仰调节的镜架(4)、固定在调节座(2)并包围镜架(4)的紧定位器(5)，其中镜架(4)中设置有直径大于80mm的光具孔(22)；其特征在于：还设置有反光斜架座(32)，调节座(2)通过反光斜架座(32)安装在滑动座(1)上，该反光斜架座(32)顶部为夹角成90°的斜槽，斜槽的两面分别设置有螺孔，用于固定调节座(2)；并且还设置有可放置于光具孔(22)内的可加持方形光学元件的方形光学元件调节器(23)。

2.如权利要求1所述的准分子激光微加工系统的光具调节器，其特征在于：所述方形光学元件调节器(23)的外围形状是与光具孔(22)相匹配的圆形，其内部是方形通孔，方形通孔的一对边设置有相对的滑槽，并设置有一对平行的滑动杆(24)、(25)，滑动杆(24)、(25)两端置于滑槽内，使滑动杆可在滑槽内良好滑动，两个滑动杆在相对的一面上还设置有用于卡住光学元件的凹槽；方形通孔的另外一对边上设置有对称的两对螺孔(26)、(27)、(28)、(29)，用于放入微调螺纹副驱动来推动滑动杆(24)、(25)移动；在通用方形设有滑槽的一对边的中心位置设置有两个相对的螺孔(30)、(31)，螺孔(30)、(31)内旋入可顶于方形光学元件侧面以紧固光学元件的螺钉。

3.如权利要求1所述的准分子激光微加工系统的光具调节器，其特征在于：所述调节座(2)底部设置有对应的三个螺孔，可通过螺栓和螺母连接滑动座(1)或反光斜架座(32)；调节座(2)设有滑动凹槽，支撑板(3)插于调节座(2)的滑动凹槽中，支撑板(3)和调节座(2)的两侧设置有对称的四个孔，在孔中固定拉力弹簧(13)、(14)用于拉紧并固定支撑板(3)和调节座(2)，滑动凹槽的两侧和底部两端设置有四个螺孔，螺孔内旋入微调螺纹副驱动(6)、(7)、(8)、(9)，并在这四个螺孔旁设置相应的小螺孔(20)，用来作为微调螺纹副驱动的锁紧机构，并且调节座(2)在与支撑板(3)的重叠处设置有四个紧固螺孔(19)，可使用螺钉顶住支撑板(3)，将调节座(2)与支撑板(3)紧固。

4.如权利要求1所述的准分子激光微加工系统的光具调节器，其特征在于：所述支撑板(3)和镜架(4)为设有圆形光具孔(22)的板状支架，支撑板(3)和镜架(4)的初始位置平行设置，在支撑板(3)和镜架(4)边缘的侧下方或侧上方设有相邻的对应的两对螺孔(18)，并通过螺栓将支撑板(3)和镜架(4)连接，在支撑板(3)和镜架(4)的其余边缘均匀设置至少两对对应的通孔，通孔穿入拉簧将支撑板(3)和镜架(4)连接，并且在两对螺孔(18)处的支撑板(3)和镜架(4)之间设置有钢珠(10)作为旋转基点，在支撑板(3)边缘的正下方或正上方以及正右方或正左方还设置有两个螺孔，用于放入微调螺纹副驱动(11)和(12)。

5.如权利要求1所述的准分子激光微加工系统的光具调节器，其特征在于：所述紧定位器(5)四周侧面均匀设置16至100个定位螺孔，螺孔内旋入螺钉，螺钉顶于镜架(4)侧面，将镜架(4)与紧定位器(5)紧固。