[发明专利]一种光刻胶烘焙装置

摘要

本发明提供一种光刻胶烘焙装置，包括：腔体，位于所述腔体内的热板，所述热板的中心设置有支撑针穿孔，所述支撑针穿过所述支撑针穿孔且通过升降电机控制其进行升降活动，还包括抽气装置，所述热板的四周和中心设置有多个中空气流孔，所述中空气流孔均通过管道连接于所述抽气装置上。本发明的光刻胶烘焙装置可使硅片在下降的过程中不会因存在上升气流的影响而发生位置的偏移，从而可使硅片准确的放置于热板之上，不会发生硅片的部分地方可能置于热板之外，从而不能对硅片进行均匀的加热的问题。

主权项

一种光刻胶烘焙装置，包括：腔体；位于所述腔体内的热板，所述热板的中心区域设置有支撑针穿孔；支撑针，所述支撑针穿过所述支撑针穿孔；升降电机，所述升降电机控制所述支撑针进行升降活动；其特征在于，还包括抽气装置，所述热板的四周和中心区域设置有多个中空气流孔，所述中空气流孔均通过管道连接于所述抽气装置上。