[发明专利]微机电电容式麦克风无效
| 申请号： | 201010189358.5 | 申请日： | 2010-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102264019A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 方维伦;詹竣凯 | 申请（专利权）人： | 国立清华大学 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微机电电容式麦克风，其包括一支撑部与一振膜；其中，支撑部支撑振膜的中心部分，借以加速排除、释放振膜于热工艺中所产生的应力，使振膜得以维持平整，以提升电容感测的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
一种微机电电容式麦克风，其特征在于，所述微机电电容式麦克风包括：一基座(21)，所述基座(21)开设一背腔(26)；一背极板(24)，所述背极板(24)设置于所述基座(21)上，并开设有多个音孔(25)，且这些音孔(25)连通所述背腔(26)；一固定件(23)，设置于所述基座(21)上，所述固定件(23)还包括一支撑部(27)；一振膜(22)，所述振膜(22)以中心部分承固于所述支撑部(27)，使所述振膜(22)平行于且对应于所述背极板(24)而设置；因此，所述振膜(22)上的应力可自所述支撑部(27)处朝外释放。
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