[发明专利]一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积设备

摘要

一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积设备，属于金刚石膜的化学气相沉积技术领域。包括微波谐振腔的上圆柱体、微波谐振腔的下圆柱体、金刚石膜沉积台、微波反射体、石英窗、等离子体、调节机构一和调节机构二。金刚石膜沉积台、微波反射体在上圆柱体和下圆柱体内部，石英窗在金刚石膜沉积台的下方；微波反射体通过调节机构一调节微波反射体的高度，调节机构二调节上圆柱体的高度，微波反射体对微波电场起反射和增强作用。上圆柱体、下圆柱体、金刚石膜沉积台、微波反射体、调节机构一和调节机构二都能实现直接的水冷。本发明优点是能在高功率下，以较高速率沉积高品质的金刚石膜，设备具有可靠、方便调节等特点。

主权项

一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积设备，其特征是沉积设备由微波谐振腔的上圆柱体(1)、微波谐振腔的下圆柱体(2)、金刚石膜沉积台(3)、微波反射体(4)、石英窗(5)、等离子体(6)、调节机构一(8)和调节机构二(9)组成；微波谐振腔的主体由两个直径不同、形状简单的上圆柱体(1)、下圆柱体(2)所组成；上圆柱体(1)、下圆柱体(2)、微波反射体(4)均为圆柱体结构；金刚石膜沉积台(3)、微波反射体(4)在上圆柱体(1)和下圆柱体(2)内部，石英窗(5)设置在金刚石膜沉积台(3)的下方；微波反射体(4)通过调节机构一(8)调节微波反射体(4)的高度，调节机构二(9)调节上圆柱体(1)的高度，微波反射体(4)对微波电场起反射和增强作用。