[发明专利]工件分离方法和设备有效
申请号: | 201010188022.7 | 申请日: | 2010-04-06 |
公开(公告)号: | CN101862908A | 公开(公告)日: | 2010-10-20 |
发明(设计)人: | 德克·弗奇;阿尔布雷希特·塞德;克劳斯·格斯特纳;托尔斯滕·格拉尔 | 申请(专利权)人: | 肖特公开股份有限公司;肖特太阳能控股公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;B23K26/42;B23K26/02;H01L21/02 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 邹璐;樊卫民 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明包括用于工件分离的方法和设备,其中借助于辐射,特别是借助于激光辐射,从一个工件上分离至少一个部件,且其中辐射在交互作用区中作用于工件上,使得工件的区域被研磨、形状改变和/或被分离;其中从交互作用区和/或其附近接收光强,并且光强被光电传感器转换为电信号,且其中,利用电信号确定出何时结束处理过程。 | ||
搜索关键词: | 工件 分离 方法 设备 | ||
【主权项】:
一种处理工件和从工件分离部件的方法,包括以下步骤:将辐射引导至在交互作用区中的工件之上,以研磨工件的材料,从而改变工件形状或从工件中分离部件,接收来自交互作用区和/或其附近的光,将接收到的光转换为电信号,分析所接收的电信号以确定何时结束处理过程。
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