[发明专利]一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

摘要

新型的法布里-珀罗传感器及其制作方法。用于检测液体、气体的相对压力和绝对压力，也可用于探测声波，超声波信号等。本结构主要由光纤、弹性膜片、传感器体和微型弹簧组成。可以采用两种方式及一种变通方法来形成法珀腔和制作传感器。弹性膜片与传感光纤通过平面—球形的点接触方式紧密接触，当外界压力变化致使弹性膜片变形时，膜片会带动光纤在传感器体中轴向移动，从而改变了光纤法珀腔的长度，当接入宽带光源后，通过对通过光纤法布里-珀罗压力传感器中的光的光谱扫描或者低相干干涉条纹的提取，可提取出腔长变化，从而获取压力信息。本结构可以避免传统光纤法布里-珀罗传感器膜片变形不能过大的缺陷，可得到更高的测量精度。

主权项

一种光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于该传感器包括：传感器体：光纤法布里-珀罗压力传感器体是传感器的支撑结构和光纤滑动时的引导结构，其形状为圆柱形或是长方体形，传感器体的中间开有一个通孔，通孔的一端开有一个凹坑；弹性膜片：用来感受压力的变化，放置于传感器体的凹坑中并固定；传感光纤：传感光纤的一端为法布里-珀罗腔所需的反射面，另一端为球形，该传感光纤放置于传感器体中间的通孔内，球形一端与弹性膜片紧密接触；传输光纤：该光纤放置于传感器体中间通孔内的另一端，用来提供法布里-珀罗腔所需的另一反射面，与传感光纤的光纤端面不接触以构成法布里-珀罗腔；微型弹簧：放置于传感光纤与传输光纤之间，用来提供弹性回复力使传感光纤与弹性膜片始终保持紧密接触。