[发明专利]高反射镜激光低损耗参数综合测量装置

摘要

本发明涉及一种高反射镜激光低损耗参数综合测量装置。在研制高性能的激光陀螺过程中,要求环形腔中的高反射镜具有很低的散射、透射和背散射损耗，在环形激光陀螺中,激光腔各元件所产生的损耗是导致其出现闭锁的重要原因。本发明提供一种高反射镜激光低损耗参数综合测量装置，包括设置于光学平台上的光源组件和积分球，光源组件上设置有波片和衰减片，积分球上设置有光电倍增管，还设置有透射测量组件A、积分散射测量组件B和背散射测量组件C。本发明在同一装置上实现了积分散射率、透射率、背向散射率测量，增强了装置的测量功能，降低测量成本，且测量时通过旋转样品可以自动改变入射角，三种测量均可以获得样品的二维测量值分布图。

主权项

一种高反射镜激光低损耗参数综合测量装置，包括设置于光学平台（24）上的光源组件和积分球（15），所述光源组件上设置有波片（4）和衰减片（6），积分球（15）上设置有光电倍增管（20），其特征在于：还包括透射测量组件A 、积分散射测量组件B和背散射测量组件C；所述透射测量组件A设置于入射光的光路上，包括透射测量架9和透射消光阱（10），其中透射消光阱（10）根据入射光角度可调整位置，设置于反射光路径上吸收反射光；所述背散射测量组件B包括背散射光阑（13）、背散射测量架（23）和背散射消光阱（21），在穿过球心的入射光光路上的积分球（15）壁上设置有背散射入射口和背散射测量口（18），背散射光阑（13）设置于背散射入射口上，在背散射测量口（18）外设置有背散射测量架（23），背散射测量架（23）可以旋转，在反射光的光路上设置有背散射消光阱（21）；所述积分散射测量组件C包括积分散射光阑（14）、积分散射测量架（25）和积分散射消光阱（22），在入射光光路上的积分球（15）壁上设置有积分散射入射口和积分散射测量口，积分散射光阑（14）设置于积分散射入射口上，积分散射测量架（25）设置于积分散射测量口上，在积分散射测量口到积分散射消光阱（22）之间的反射光路上的积分球（15）壁上设置有积分散射出光口（16），在积分球（15）内进入积分散射入射口的入射光与反射出积分球的反射光的光程近似相等，入射角为测量角； 所述的入射口、测量口和出光口上均设置有配件；所述配件是标准白板。