[发明专利]支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩的方法有效
| 申请号： | 201010165695.0 | 申请日： | 2010-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102294671A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 罗明新;周天贤 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈和护罩的方法，所述线圈的第一位置、第三位置和第五位置分别设置有线圈组装部，所述第一位置为电源的进线位置，所述第五位置为电源的出线位置，所述第三位置位于所述第一位置和第五位置之间；所述护罩上设置有护罩组装部，分别对应于所述线圈组装部，该方法包括如下步骤：将所述支撑装置放置于所述护罩内；将所述线圈定位于所述支撑装置的凹槽，并使所述线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部位于同一高度；在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部。本发明在组装过程中，护罩上产生的颗粒少。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 装置 组装 薄膜 物理 线圈 护罩 方法 | ||
【主权项】：
一种支撑装置，其特征在于，包括：支撑台，设置有在组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩时用以定位所述线圈的凹槽。
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