[发明专利]反射式液晶显示面板的薄膜晶体管基板及其制作方法有效
申请号: | 201010164584.8 | 申请日: | 2010-04-16 |
公开(公告)号: | CN101840892A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 黄凯泓 | 申请(专利权)人: | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1362;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 孙长龙 |
地址: | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种反射式液晶显示面板的薄膜晶体管基板,其包括一基板、一栅极电极、一像素电极、一图案化栅极绝缘层、一图案化半导体层、一源极电极、一漏极电极、以及复数个反射凸块。此外,其制作方法包括下列步骤。首先,于基板上形成栅极电极与像素电极。随后,形成具有第一开孔与复数个第二开孔的图案化栅极绝缘层。之后,形成图案化半导体层。接着,形成源极电极、漏极电极与复数个反射凸块,且漏极电极藉由第一开孔与像素电极接触,以及复数个反射凸块分别填入复数个第二开孔内并与像素电极接触。 | ||
搜索关键词: | 反射 液晶显示 面板 薄膜晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种反射式液晶显示面板的薄膜晶体管基板的制作方法,其特征在于,包括:提供一基板,该基板具有至少一像素区,且该像素区定义有一元件区与一显示区;于该基板上形成一栅极电极与一像素电极,其中该栅极电极设置于该元件区,以及该像素电极设置于该显示区;于该栅极电极与该像素电极上形成一图案化栅极绝缘层,其中该图案化栅极绝缘层具有一第一开孔与复数个第二开孔,暴露出部分该像素电极;于该图案化栅极绝缘层上形成一图案化半导体层,其中该图案化半导体层大体上对应该栅极电极;以及形成一源极电极、一漏极电极与复数个反射凸块,其中该源极电极与该漏极电极设置于该元件区的该图案化半导体层与该图案化栅极绝缘层上并大体上分别对应该栅极电极的两相对侧,且该漏极电极藉由该第一开孔与该像素电极接触,以及该等反射凸块分别填入该显示区的该图案化栅极绝缘层的该等第二开孔内并与该像素电极接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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