[发明专利]一种样品观测载网及其制造方法有效
| 申请号： | 201010163852.4 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102236160A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈卉;李桂花;刘君芳;卢秋明;李德勇 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/34 | 分类号： | G02B21/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种样品观测载网，包括网格载体、形成于所述网格载体之上的支持膜和形成于所述支持膜之上的第一导电膜，还包括第二导电膜，所述第二导电膜形成于所述第一导电膜之上。本发明提供的样品观测载网及其制造方法由于在样品观测载网的第一导电膜之上还形成一层第二导电膜，第二导电膜的颗粒大于第一导电膜的颗粒，故而第二导电膜可使样品观测载网的表面更为粗糙，可进一步增强样品观测载网对放置其上的样品的固定能力，使放置于样品观测载网上的样品不再轻易掉落，且形成该第二导电膜的成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 观测 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种样品观测载网，包括网格载体、形成于所述网格载体之上的支持膜和形成于所述支持膜之上的第一导电膜，其特征在于，还包括第二导电膜，所述第二导电膜形成于所述第一导电膜之上。
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