[发明专利]振膜及包括该振膜的电容麦克风有效
| 申请号： | 201010163721.6 | 申请日： | 2010-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101883306A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/00 | 分类号： | H04R7/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振膜，其包括振动部和与振动部相连的支撑部，所述支撑部与振动部通过凸出于振动部外周的凸块连接，且振动部与支撑部之间有第一缝隙，支撑部包括位于振动部外周且与凸块分离的支撑梁、与凸块相连的扭转梁和与支撑梁相连的固定梁，固定梁与扭转梁之间有第二缝隙。该种振膜可以释放振膜在沉积过程中所形成的应力。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
一种振膜，其包括振动部和与振动部相连的支撑部，所述支撑部与振动部通过凸出于振动部外周的凸块连接，且振动部与支撑部之间有第一缝隙，其特征在于：支撑部包括位于振动部外周且与凸块分离的支撑梁、与凸块相连的扭转梁和与支撑梁相连的固定梁，固定梁与扭转梁之间有第二缝隙。
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