[发明专利]振膜及包括该振膜的电容麦克风

说明书

技术领域

本发明涉及一种振膜及包括该振膜的电容麦克风。

背景技术

随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。

而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone，简称MEMS)，相关技术中，MEMS麦克风包括基底、背板和振膜。振膜是MEMS麦克风的重要部件，振膜一般采用均匀分布的固定梁来支撑。但这种振膜结构的薄膜应力很难释放，从而影响了麦克风的灵敏度和一致性。所以有必要提供一种新型振膜和包括该新型振膜的麦克风。

发明内容

本发明需解决的技术问题是提供一种能够释放薄膜在沉积过程中所形成的应力的振膜和一种能够提高灵敏度和一致性的电容麦克风。

根据上述需解决的技术问题，设计了一种振膜，其包括振动部和与振动部相连的支撑部，所述支撑部与振动部通过凸出于振动部外周的凸块连接，且振动部与支撑部之间有第一缝隙，支撑部包括位于振动部外周且与凸块分离的支撑梁、与凸块相连的扭转梁和与支撑梁相连的固定梁，固定梁与扭转梁之间有第二缝隙。

优选的，所述扭转梁与支撑梁连接。

优选的，所述振动部、凸块和扭转梁共面。

优选的，振动部与扭转梁之间具有垂直落差。

优选的，凸块与振动部共面，凸块与扭转梁之间设有台阶。

本发明还提供了一种电容麦克风，其包括如上所述的振膜。

本发明的有益效果在于：由于支撑部包括位于振动部外周且与凸块分离的支撑梁、与凸块相连的扭转梁和与支撑梁相连的固定梁，固定梁与扭转梁之间有第二缝隙，所以通过扭转梁可以释放振膜在沉积过程中所产生的应力。

由于凸块与振动部共面，凸块与扭转梁之间设有台阶，所以可以进一步释放薄膜的应力。

由于电容麦克风采用了如上所述的振膜，所以提高了电容麦克风的灵敏度和一致性。

附图说明

图1是本发明提供的振膜一个实施例的立体图；

图2是本发明提供的振膜第二个实施例的立体图。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

本发明提供的硅电容麦克风主要用于手机等电子设备中，用于接收声音。振膜用于该硅电容麦克风中。

本发明提供的第一个实施例，参见图1，本发明提供的振膜1，包括振动部11和支撑部12，振动部11与支撑部12通过凸块15相连，且振动部11与支撑部12之间有第一缝隙13。凸块15突出于振动部11的外周。

支撑部12包括位于振动部11外周且与凸块15分离的支撑梁121、与凸块15相连的扭转梁122和与支撑梁121相连的固定梁123。固定梁123与扭转梁122之间有第二缝隙14。

扭转梁122与支撑梁123可以连接。

图1中，振动部11、凸块15和扭转梁122是共面的。

通过扭转梁122可以释放振膜1在沉积过程中所产生的应力。

参见图2，在本发明提供的另外一个实施例中，提供的振膜1a，振动部11a与扭转梁122a不在一个平面上，即振动部11a与扭转梁122a之间具有垂直落差。

一种方式是凸块15a与振动部11a共面，凸块15a与扭转梁122a之间设有台阶16a。

由于凸块15a与振动部11a共面，凸块15a与扭转梁122a之间设有台阶16a，所以可以进一步释放振膜1a的应力。

本发明提供的电容麦克风包括如上所述的振膜。

以上所述的仅是本发明的若干实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。