[发明专利]一种背面钝化的太阳能电池的生产方法

摘要

本发明涉及一种背面钝化的太阳能电池的生产方法。它具有如下步骤：清洗制绒、生长二氧化硅、选择性扩散，去正面二氧化硅保留背面二氧化硅、去磷硅玻璃及刻边、印刷正负电极以及烧结和电性能测试；或者清洗制绒、生长二氧化硅、选择性扩散，去背面二氧化硅、去磷硅玻璃及刻边、背面沉积氮化硅，腐蚀出背电极以及烧结和电性能测试。该工艺简单，成本较低，可控性和稳定性好，背面钝化之后，大大降低了背面的复合速率，背面的发射率高，提高了电压电流及电池的效率。

主权项

一种背面钝化的太阳能电池的生产方法，其特征是具有如下步骤：a.将硅片清洗制绒；b.在硅片上生长一层二氧化硅薄膜；c.在硅片正面腐蚀出正电极的形状后，在硅片正面进行选择性扩散形成选择性发射结；d.腐蚀掉硅片正面的二氧化硅薄膜，再用氢氟酸清洗；e.对硅片进行去边，再用氢氟酸去掉硅片正面的磷硅玻璃，保留硅片背面的二氧化硅作为钝化层；f.在硅片背面腐蚀出背面电极的形状，再用氢氟酸清洗；g.然后在硅片正面电极和背面电极印刷浆料，最后进行烧结和电性能测试。