[发明专利]一种背面钝化的太阳能电池的生产方法

权利要求书

1.一种背面钝化的太阳能电池的生产方法，其特征是具有如下步骤：

a.将硅片清洗制绒；

b.在硅片上生长一层二氧化硅薄膜；

c.在硅片正面腐蚀出正电极的形状后，在硅片正面进行选择性扩散形成选择性发射结；

d.腐蚀掉硅片正面的二氧化硅薄膜，再用氢氟酸清洗；

e.对硅片进行去边，再用氢氟酸去掉硅片正面的磷硅玻璃，保留硅片背面的二氧化硅作为钝化层；

f.在硅片背面腐蚀出背面电极的形状，再用氢氟酸清洗；

g.然后在硅片正面电极和背面电极印刷浆料，最后进行烧结和电性能测试。

2.根据权利要求1所述的一种背面钝化的太阳能电池的生产方法，其特征是：所述的二氧化硅薄膜的厚度为50nm～300nm。

3.根据权利要求1所述的一种背面钝化的太阳能电池的生产方法，其特征是：清洗硅片正面的磷硅玻璃所用氢氟酸的质量浓度为1％～50％，时间为1s～60s。

4.根据权利要求1所述的一种背面钝化的太阳能电池的生产方法，其特征是：背面电极印刷的浆料中含有玻璃料，玻璃料的质量百分含量为0％～30％。

5.一种背面钝化的太阳能电池的生产方法，其特征是具有如下步骤：

a.将硅片清洗制绒；

b.在硅片上生长一层二氧化硅薄膜；

c.在硅片正面腐蚀出正电极的形状后，在硅片正面进行选择性扩散形成选择性发射结；

d.腐蚀掉硅片背面的二氧化硅薄膜，再用HF清洗；

e.对硅片进行去边，再用氢氟酸去掉硅片正面的磷硅玻璃；

f.在硅片背面沉积一层氮化硅薄膜；

g.在硅片背面腐蚀出背面电极的形状，再用氢氟酸清洗；

h.然后印刷硅片正面电极和背面电极，最后进行烧结和电性能测试。

6.根据权利要求5所述的一种背面钝化的太阳能电池的生产方法，其特征是：所述的氮化硅薄膜厚度为50nm～200nm，折射率为2.0～3.0。