[发明专利]一种提高钢铁材料表面硬度和耐磨性的方法

摘要

一种提高钢铁材料表面硬度和耐磨性的方法，包括如下步骤：1)基材导入溅射室内，溅射室内工作真空度0.1～100Pa；2)通入介质气体，使溅射室达到并维持工作真空度0.1～100Pa；3)在外加电源作用下，把介质气体电离成荷能离子，并调节电压100～2000V和电流0.01A～5A，使溅射功率密度保持在0.1～30W/cm2；4)用离子流对基材表面进行持续的溅射蚀刻处理0.01～10h，基材表面生成高硬度和优良耐磨性的薄膜，厚度为0.001～100μm；5)处理结束后基材自溅射室中导出，基材获得溅射蚀刻改性表面。本发明方法在钢铁材料表面形成高硬度和优良耐磨性的薄膜。若再引入反应性气体，更能生成金属间化合物来提高硬度和耐磨性。

主权项

一种提高钢铁材料表面硬度和耐磨性的方法，其包括如下步骤：1)基材导入溅射室内，溅射室内工作真空度0.1～100Pa；2)通入介质气体，调节通入介质气体的压力、流量以及真空阀门的开启度，使溅射室达到并维持工作真空度0.1～100Pa；3)在外加电源作用下，把介质气体电离成荷能离子，并调节电压100～2000V和电流0.01A～5A，使溅射功率密度保持在0.1～30W/cm2；4)用离子流对基材表面进行持续的溅射蚀刻处理0.01～10h，基材表面生成高硬度和优良耐磨性的薄膜，厚度为0.001～100μm；5)处理结束后，基材自溅射室中导出，基材获得溅射蚀刻改性表面。