[发明专利]直拉硅单晶的镓元素掺杂方法及所用掺杂装置有效
| 申请号： | 201010132399.0 | 申请日： | 2010-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101787566A | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 郭兵健;王飞尧;何国君;黄笑容;肖型奎 | 申请（专利权）人： | 杭州海纳半导体有限公司;浙江众合机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/04 | 分类号： | C30B31/04 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 311100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镓元素掺杂装置，包括由高纯石英制成的吊环(2)和环状固定套(3)，还包括由高纯单晶硅制成的空心圆锥体(4)；环状固定套(3)与空心圆锥体(4)相连，吊环(2)的一端与环状固定套(3)相连，吊环(2)的另一端与柄部(1)相连，在柄部(1)上设有与籽晶杆上的籽晶夹头相配套的凹槽(11)。本发明还同时公开了利用上述镓元素掺杂装置进行的直拉硅单晶的镓元素的掺杂方法。使用本发明能有效避免因硅熔体溅起对长晶造成的不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉硅单晶 元素 掺杂 方法 所用 装置 | ||
【主权项】：
一种镓元素掺杂装置，其特征是：包括由高纯石英制成的吊环(2)和环状固定套(3)，还包括由高纯单晶硅制成的空心圆锥体(4)；环状固定套(3)与所述空心圆锥体(4)相连，吊环(2)的一端与环状固定套(3)相连，吊环(2)的另一端与柄部(1)相连，在柄部(1)上设有与籽晶杆上的籽晶夹头相配套的凹槽(11)。
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