[发明专利]晶片清洗装置

摘要

本发明公开了一种晶片清洗装置，包括永磁体，用于产生磁通量信号；霍尔传感器，用于在刷子旋转时，接收所述永磁体产生的磁通量信号，将所述磁通量信号转变为电信号；位置传感器，用于侦测该刷子处于开启还是闭合状态，在该刷子处于闭合状态时，将代表该刷子闭合的逻辑信号发送给PLC；PLC，用于读取霍尔传感器发送的电信号，得到所述电信号的频率，当该电信号的频率小于设置的频率阈值时，如果读取到位置传感器发送的代表该刷子闭合的逻辑信号，将该逻辑信号发送给控制器；控制器，用于在读取到PLC发送的逻辑信号时告警。采用本发明装置清洗晶片时，能够及时发现刷子转速异常。

主权项

一种晶片清洗装置，用于清洗化学机械研磨后的晶片，包括置于水槽中的刷子、与刷子配合使用的套筒和中心轴，所述套筒套于中心轴的表面，所述刷子套于套筒的表面，所述刷子包括第一刷子和第二刷子，第一套筒和第一中心轴与第一刷子配合使用，第二套筒和第二中心轴与第二刷子配合使用，其特征在于，该装置还包括永磁体、霍尔传感器、位置传感器、可编程逻辑控制器PLC和控制器；永磁体，内嵌安装于两个刷子中任一刷子所配合使用的套筒上，用于产生磁通量信号；霍尔传感器，安装于水槽外部，与永磁体相对配置，用于在刷子旋转时，接收所述永磁体产生的磁通量信号，将所述磁通量信号转变为电信号；位置传感器，安装于水槽外部，且位于刷子闭合时，具有永磁体的刷子的中心轴的轴线上，用于侦测该刷子处于开启还是闭合状态，在该刷子处于闭合状态时，将代表该刷子闭合的逻辑信号发送给PLC；PLC，用于读取霍尔传感器发送的电信号，得到所述电信号的频率，当该电信号的频率小于设置的频率阈值时，如果读取到位置传感器发送的代表该刷子闭合的逻辑信号，将该逻辑信号发送给控制器；控制器，用于在读取到PLC发送的逻辑信号时告警。