[发明专利]通用太赫兹光谱光电测试系统

摘要

本发明揭示了一种能够通过多种定制光源和探测器组合、用户选择光路部件、添加外围辅助设备可以实现傅里叶光谱、透射光谱、反射光谱和太赫兹电子器件光电特性等多种测试功能的太赫兹光电特性测试系统，具有高信噪比、高分辨率、强扩展性、低成本等优点，可以广泛适用于太赫兹技术研究、新材料研究、环境检测和生物医学分析。该发明对光谱和光电响应测试系统的光路、电路和控制进行了优化设计和系统集成，设计了紧凑合理的光学、机械和真空腔结构，采用了计算机控制的精确机械扫描和数据采集，最终可以实现使用多种不同光源和探测器组合、测试分析材料与太赫兹光源和探测器等核心器件的太赫兹光电特性的目的。

主权项

通用太赫兹光谱光电测试系统，其特征在于包括设于系统密封腔(1)内的如下模块：可见光输出模块，包括按光路依次设置的激光器(2)、反射镜(3)、可见光窗口(4)、准直光阑(5)和旋转反射镜(6)，利用可见光调整整个系统的光路；太赫兹波输出模块，包括离轴非球面反射镜(7)、斩波器(8)、直线导轨(9)、离轴非球面反射镜(10)、太赫兹输入窗口(11)、离轴非球面反射镜(12)、光阑(13)和太赫兹源(14)，用于向系统密封腔(1)输出光通量可调的太赫兹波，并输出斩波器(8)调制后的太赫兹波；干涉模块，包括太赫兹分束器(15)、可见光分束器(16)、静反射镜(17)、电动位移平台(19)及组装于其上的动反射镜(18)，用于将入射的可见光或太赫兹波形成干涉；透射样品模块，包括离轴非球面反射镜(23)、样品架(24)、样品仓(25)和离轴非球面反射镜(26)，用于对样品进行透射谱测量的水平方向和垂直方向位置控制；探测模块，包括可见光探测器(20)、直线导轨(21)、反射镜(22)、反射镜(27)、太赫兹输出窗口(28)、离轴非球面反射镜(29)和太赫兹探测器(30)，用于分别探测可见光、太赫兹源输出的太赫兹波和干涉调制后的太赫兹波；以及与探测模块信号相连的控制模块，包括电学端口(31)和计算机及软件系统(32)，提供系统中各部件的电压、电流和交互通信信号及控制各零部件的工作情况，并对探测结果进行计算分析和显示。