[发明专利]一种基于绝缘体上硅工艺的CMOS环形振荡器无效
申请号: | 201010122454.8 | 申请日: | 2010-03-11 |
公开(公告)号: | CN101814512A | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 石春琦;陈磊;赖宗声 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 上海蓝迪专利事务所 31215 | 代理人: | 徐筱梅;张翔 |
地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于绝缘体上硅工艺的CMOS环形振荡器,其电路设计采用增强型绝缘体上硅体连接(BC)NMOS管源端接耗尽型绝缘体上硅浮体(FB)NMOS管,利用浮体管体区悬浮的特殊器件结构,改进了上升时间与电源电压的关系,并改进了频率输出与电源电压的相关性,从而更好地提供稳定频率输出,并利用绝缘体上硅工艺器件的高阻衬底及隐埋氧化层,显著降低串扰和最小化寄生电容,更好地屏蔽衬底噪声。本发明的振荡频率随电源电压的变化很小,线路简单,具有很强的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 绝缘体 工艺 cmos 环形 振荡器 | ||
【主权项】:
一种基于绝缘体上硅工艺的CMOS环形振荡器,该振荡器含IN端、OUT端、电源VDD和地线GND,其中IN端为监测端,OUT端为输出端,其特征在于,该振荡器还含第一MOS管M1、第二MOS管M2、第三MOS管M3、第四MOS管M4、第五MOS管M5、第六MOS管M6、第七MOS管M7、第八MOS管M8、第九MOS管M9、第十MOS管M10、第十一MOS管M11、第十二MOS管M12、第十三MOS管M13、第十四MOS管M14、第十五MOS管M15、第十六MOS管M16、第十七MOS管M17、第十八MOS管M18、第十九MOS管M19、第二十MOS管M20、第二十一MOS管M21、第一电容C1、第二电容C2、第三电容C3、第四电容C4、第五电容C5、第六电容C6、第七电容C7,其中第一MOS管M1、第三MOS管M3、第五MOS管M5、第七MOS管M7、第九MOS管M9、第十一MOS管M11、第十三MOS管M13为增强型绝缘体上硅体连接(BC)PMOS管;第二MOS管M2、第四MOS管M4、第六MOS管M6、第八MOS管M8、第十MOS管M10、第十二MOS管M12、第十四MOS管M14为增强型绝缘体上硅体连接(BC)NMOS管;第十五MOS管M15、第十六MOS管M16、第十七MOS管M17、第十八MOS管M18、第十九MOS管M19、第二十MOS管M20、第二十一MOS管M21为耗尽型绝缘体上硅浮体(FB)NMOS管;具体电路形式为:第一MOS管M1与第二MOS管M2栅极、漏极分别连接在一起,第一MOS管M1的源极与电源连接,第二MOS管M2的源极与第十五MOS管M15的漏极连接,第十五MOS管M15的源极与栅极连接在一起后接地,第一MOS管M1、第二MOS管M2、第十五MOS管M15构成了环形振荡器的第一级(stage1);第三MOS管M3与第四MOS管M4栅极、漏极分别连接在一起,第三MOS管M3的源极与电源连接,第四MOS管M4的源极与第十六MOS管M16的漏极连接,第十六MOS管M16的源极与栅极连接在一起后接地,第三MOS管M3、第四MOS管M4、第十六MOS管M16构成了环形振荡器的第二级(stage2);第五MOS管M5与第六MOS管M6栅极、漏极分别连接在一起,第五MOS管M5的源极与电源连接,第六MOS管M6的源极与第十七MOS管M17的漏极连接,第十七MOS管M17的源极与栅极连接在一起后接地,第五MOS管M5、第六MOS管M6、第十七MOS管M17构成了环形振荡器的第三级(stage3);第七MOS管M7与第八MOS管M8栅极、漏极分别连接在一起,第七MOS管M7的源极与电源连接,第八MOS管M8的源极与第十八MOS管M18的漏极连接,第十八MOS管M18的源极与栅极连接在一起后接地,第七MOS管M7、第八MOS管M8、第十八MOS管M18构成了环形振荡器的第四级(stage4);第九MOS管M9与第十MOS管M10栅极、漏极分别连接在一起,第九MOS管M9的源极与电源连接,第十MOS管M10的源极与第十九MOS管M19的漏极连接,第十九MOS管M19的源极与栅极连接在一起后接地,第九MOS管M9、第十MOS管M10、第十九MOS管M19构成了环形振荡器的第五级(stage5);第十一MOS管M11与第十二MOS管M12栅极、漏极分别连接在一起,第十一MOS管M11的源极与电源连接,第十二MOS管M12的源极与第二十MOS管M20的漏极连接,第二十MOS管M20的源极与栅极连接在一起后接地,第十一MOS管M11、第十二MOS管M12、第二十MOS管M20构成了环形振荡器的第六级(stage6);第十三MOS管M13与第十四MOS管M14栅极、漏极分别连接在一起,第十三MOS管M13的源极与电源连接,第十四MOS管M14的源极与第二十一MOS管M21的漏极连接,第二十一MOS管M21的源极与栅极连接在一起后接地,第十三MOS管M13、第十四MOS管M14、第二十一MOS管M21构成了环形振荡器的第七级(stage7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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