[发明专利]追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法

摘要

本发明提供即使看丢回归反射体也能再次开始测定的追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法。通过第一判定部(521)判定第一及第二接受光装置之中至少一方的接受光装置的受光量为所定第一阈值以下场合，图形射出控制部(54)控制变更机构(121)，使得来自光源的光沿所定图形射出。并且，通过图形射出控制部(54)控制变更机构(121)，来自光源的光沿所定图形射出期间，通过第二判定部(522)判定各接受光装置的受光量都为所定的第二阈值以上场合，追踪控制部(51)使得变更机构(121)追踪回归反射体(11)。因此，干涉仪(1)看丢回归反射体(11)场合，沿着所定图形射出光，探索回归反射体(11)，检测到回归反射体(11)场合，能再次追踪回归反射体(11)，能再次开始测定。

主权项

一种追踪式激光干涉仪，其特征在于：该追踪式激光干涉仪包括：光源；回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；参照面，反射来自上述光源的光；第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的光的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；第二接受光装置，接受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量的受光信号；变更机构，变更来自上述光源的光的射出方向；变更机构控制装置，根据来自上述第二接受光装置的受光信号，使得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内；以及距离计算装置，使用来自上述第一接受光装置的受光信号，计算从所定基准点至上述回归反射体的距离；上述变更机构控制装置包括：第一判定部，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第一阈值以下；图形射出控制部，由上述第一判定部判定至少一方的接受光装置的受光量为上述第一阈值以下场合，控制上述变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；第二判定部，通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第二阈值以上；追踪控制部，通过上述第二判定部判定上述各接受光装置的上述受光量都为上述第二阈值以上场合，使得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内。