[发明专利]追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法

说明书

技术领域

本发明涉及追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法。

背景技术

以往，作为测定至移动体距离的测定装置，利用例如追踪式激光干涉仪(例如参 照专利文献1)。

专利文献1中记载的追踪式激光干涉仪系将激光分割为测定光和参照光，朝着 安装在移动体上的回归反射体(retro reflector)射出测定光，追踪回归反射体，使得从 回归反射体的返回光的偏移量处于所定范围内。另外，该干涉仪使得参照光在参照面 反射，使用在上述参照面反射的参照光和从回归反射体的返回光的干涉光，测定至回 归反射体(移动体)的距离。

[专利文献1]日本专利申请公开2008-128899号公报

但是，在这种追踪式激光干涉仪中，由于测定光偏离回归反射体，或障害物位于 干涉仪和回归反射体之间，从回归反射体的返回光没有返回到干涉仪场合，看丢回归 反射体，朝着看丢方向继续射出测定光。因此，在这种追踪式激光干涉仪中，存在若一 旦看丢回归反射体，则不能再次开始测定移动体的问题。

发明内容

本发明就是鉴于上述以往技术所存在的问题而提出来的，本发明的目的在于， 提供即使看丢回归反射体也能再次开始测定的追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距 离测定方法。

为了解决上述课题，本发明的追踪式激光干涉仪，其特征在于：

该追踪式激光干涉仪包括：

光源；

回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；

参照面，反射来自上述光源的光；

第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的 光的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；

第二接受光装置，接受上述返回光，输出根据受光量以及上述返回光的偏移量 的受光信号；

变更机构，变更来自上述光源的光的射出方向；

变更机构控制装置，根据来自上述第二接受光装置的受光信号，使得上述变更 机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳在所定范围内；以及

距离计算装置，使用来自上述第一接受光装置的受光信号，计算从所定基准点 至上述回归反射体的距离；

上述变更机构控制装置包括：

第一判定部，根据来自上述第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号， 判定上述各接受光装置的受光量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第 一阈值以下；

图形射出控制部，由上述第一判定部判定至少一方的接受光装置的受光量为上 述第一阈值以下场合，控制上述变更机构，使得来自上述光源的光沿所定图形射出；

第二判定部，通过上述图形射出控制部控制上述变更机构期间，根据来自上述 第一接受光装置及上述第二接受光装置的受光信号，判定上述各接受光装置的受光 量是否为对上述各接受光装置分别设定的所定的第二阈值以上；

追踪控制部，通过上述第二判定部判定上述各接受光装置的上述受光量都为上 述第二阈值以上场合，使得上述变更机构追踪上述回归反射体，使得上述偏移量收纳 在所定范围内。

按照本发明，由第一判定部判定第一接受光装置及第二接受光装置之中至少一 方的接受光装置的受光量为所定第一阈值以下场合，图形射出控制部控制变更机构， 使得来自光源的光沿所定图形射出。并且，通过图形射出控制部控制变更机构，来自 光源的光沿所定图形射出期间，通过第二判定部判定各接受光装置的受光量都为所 定第二阈值以上场合，追踪控制部使得变更机构追踪回归反射体。因此，本发明的追 踪式激光干涉仪(以下简记为“干涉计”)看丢回归反射体场合，沿着所定图形射出光， 探索回归反射体，检测到回归反射体场合，能再次追踪回归反射体，因此，即使看丢回 归反射体，也能再次开始测定至回归反射体的距离。

本发明的另一种追踪式激光干涉仪，其特征在于：

该追踪式激光干涉仪包括：

光源；

回归反射体，安装在移动体上，反射来自上述光源的光；

参照面，反射来自上述光源的光；

第一接受光装置，接受来自上述回归反射体的返回光以及在上述参照面反射的 光的干涉光，输出根据受光量以及上述回归反射体的变位量的受光信号；