[发明专利]偏角度多线切割方法及其切割装置无效
申请号: | 201010114101.3 | 申请日: | 2010-02-25 |
公开(公告)号: | CN101791828A | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 徐永兵;喻飞建;徐志群 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 杨志宇 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明涉及偏角度多线锯切割方法及其切割装置。传统工艺中将硅锭切割成多片硅片的方法,第一块硅锭和第二块硅锭在固定的时候完全与水平面平行,并且切割线与硅锭的底部是平行的,没有偏角度。本发明的偏角度多线切割方法,同时多线切割经过倒角处理的两块硅锭。采用本发明方法,切割时间由传统的430分钟缩短了10-20分钟是非常有意义的,因为在拆卸已经切割完毕的硅片,更换新的切割线都需要消耗一定的工作时间,如果拆卸更换消耗时间过长,连带折算成7小时左右的切割时间,导致总工作周期超过8小时的工作,那么每天24小时按三班8小时的工作方式就会缩短为有效工作周期为两班;也可以有足够充裕的时间去准备下一切割工作。 | ||
搜索关键词: | 偏角 度多线 切割 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
偏角度多线切割方法,同时多线切割经过倒角处理的两块硅锭,第一块硅锭和第二块硅锭均固定在鸠尾座(3)上,第一块硅锭的中心轴(E1)与第二块硅锭的中心轴(E2)呈平行分布的,第一块硅锭的沿垂直地面方向的横截面分布有第一上内顶角(A1),第一上外顶角(B1),第一下外顶角(C1),第一下内顶角(D1);第二块硅锭的沿垂直地面面方向的横截面分布有第二上内顶角(A2),第二上外顶角(B2),第二下外顶角(C2),第二下内顶角(D2);其特征在于:第一下外顶角(C1)垂直于水平线的距离高于第一下内顶角(D1)垂直于水平线的距离;第二下外顶角(C2)垂直于水平线的距离高于第二下内顶角(D2)垂直于水平线的距离。
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