[发明专利]偏角度多线切割方法及其切割装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种多线锯切割方法及其切割装置，尤其是偏角度多线锯切割方法及其切割装置。

背景技术

传统工艺中将硅锭切割成多片硅片的方法是不偏角度的，具体如下：

传统工艺中将硅锭切割成多片硅片的方法，同时多线切割经过倒角处理的两块硅锭，第一块硅锭和第二块硅锭均固定在鸠尾座3上，第一块硅锭的中心轴E1与第二块硅锭的中心轴E2呈平行分布的，第一块硅锭的沿垂直地面方向的横截面分布有第一上内顶角A1，第一上外顶角B1，第一下外顶角C1，第一下内顶角D1；第二块硅锭的沿垂直地面面方向的横截面分布有第二上内顶角A2，第二上外顶角B2，第二下外顶角C2，第二下内顶角D2；其特征在于：第一下外顶角C1垂直于水平线的距离与第一下内顶角D1垂直于水平线的距离相同；第二下外顶角C2垂直于水平线的距离与第二下内顶角D2垂直于水平线的距离相同。

传统工艺中将硅锭切割成多片硅片的方法，第一块硅锭和第二块硅锭在固定的时候完全与水平面平行，并且切割线与硅锭的底部是平行的，没有偏角度。这样的操作是符合切割设备厂商提供的正统的操作，因而很少有技术人员会将此方法进行改动。

在传统的不偏角度的切割中，多线切割各重10公斤的两块硅锭至全部为硅片结束，整个切割过程一般需要428-432分钟。

发明内容

本发明的目的在于提供偏角度多线锯切割方法及其切割装置，可以适当缩短切割的工作周期，有利于提高工作效率。

本发明的技术方案为：

偏角度多线切割方法，同时多线切割经过倒角处理的两块硅锭，第一块硅锭和第二块硅锭均固定在鸠尾座3上，第一块硅锭的中心轴E1与第二块硅锭的中心轴E2呈平行分布的，第一块硅锭的沿垂直地面方向的横截面分布有第一上内顶角A1，第一上外顶角B1，第一下外顶角C1，第一下内顶角D1；第二块硅锭的沿垂直地面面方向的横截面分布有第二上内顶角A2，第二上外顶角B2，第二下外顶角C2，第二下内顶角D2；第一下外顶角C1垂直于水平线的距离高于第一下内顶角D1垂直于水平线的距离；第二下外顶角C2垂直于水平线的距离高于第二下内顶角D2垂直于水平线的距离。

偏角度多线切割方法，同时多线切割经过倒角处理的两块硅锭，第一块硅锭和第二块硅锭均固定在鸠尾座3上，第一块硅锭的中心轴E1与第二块硅锭的中心轴E2呈平行分布的，第一块硅锭的沿垂直地面方向的横截面分布有第一上内顶角A1，第一上外顶角B1，第一下外顶角C1，第一下内顶角D1；第二块硅锭的沿垂直地面面方向的横截面分布有第二上内顶角A2，第二上外顶角B2，第二下外顶角C2，第二下内顶角D2；第一下外顶角C1垂直于水平线的距离高于第一下内顶角D1垂直于水平线的距离1.4-1.6毫米；第二下外顶角C2垂直于水平线的距离高于第二下内顶角D2垂直于水平线的距离1.4-1.6毫米。

偏角度多线切割方法，硅锭重量为9.8-10.2公斤。

偏角度多线切割方法，多线切割时间为408-422分钟。

偏角度多线切割装置，包括经过倒角处理的两块硅锭、两块托板2、两块鸠尾座3、两块玻璃板4、砂浆管5、切割线6和导线轮1；鸠尾座3与托板2相连，托板2与玻璃板4粘接相连，玻璃板4与硅锭相连，切割线6均匀的绕在导线轮1上；多根砂浆管5分布于整个切割装置中；第一块硅锭的中心轴E1与第二块硅锭的中心轴E2呈平行分布的，第一块硅锭的沿垂直地面方向的横截面分布有第一上内顶角A1，第一上外顶角B1，第一下外顶角C1，第一下内顶角D1；第二块硅锭的沿垂直地面面方向的横截面分布有第二上内顶角A2，第二上外顶角B2，第二下外顶角C2，第二下内顶角D2；第一下外顶角C1垂直于水平线的距离高于第一下内顶角D1垂直于水平线的距离1.4-1.6毫米；第二下外顶角C2垂直于水平线的距离高于第二下内顶角D2垂直于水平线的距离1.4-1.6毫米。

传统工艺中将硅锭切割成多片硅片的方法，第一块硅锭和第二块硅锭在固定的时候完全与水平面平行，并且切割线与硅锭的底部是平行的，没有偏角度。这样的操作是符合切割设备厂商提供的正统的操作，因而很少有技术人员会将此方法进行改动。

在传统的不偏角度的切割中，多线切割各重10公斤的两块硅锭至全部为硅片结束，整个切割过程一般需要428-432分钟。