[发明专利]电容测试方法无效
| 申请号： | 201010113495.0 | 申请日： | 2010-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN102169141A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 秦晓静;蒋乐乐;程玉华 | 申请（专利权）人： | 上海北京大学微电子研究院 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了多层互连线系统中电容测试方法，以提高电容测试的精确度，其中该方法包括步骤：依照测试信号施加方式，给多层互连线系统中各互连线均施加测试信号；在每次施加测试信号后，测试该多层互连线系统的整体电容值；根据测试出的整体电容值，以及整体电容值和待测电容值的数量关系，计算出待测电容值。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种多层互连线系统中电容测试方法，其特征在于，包括：依照测试信号施加方式，给多层互连线系统中各互连线均施加测试信号；在每次施加测试信号后，测试该多层互连线系统的整体电容值；根据测试出的整体电容值，以及整体电容值和待测电容值的数量关系，计算出待测电容值。
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